15.2 超高真空隔離閘閥系列旨在用于需要低顆粒產生量和低沖擊敏感性的應用。這些閥門可用于各種壓力水平（最高為超高真空 < 10-10 mbar）下的真空隔離。

該系列的所有閥門均采用 MONOVAT 技術。該技術能提供可靠的閘門密封，同時不會產生任何摩擦，并且還會產生降低顆粒的風險。MONOVAT 技術的關鍵特點之一是經硫化處理的閘封。這是一種高度可靠且更持久的密封解決方案。另一個優勢是其在低顆粒產生量和釋氣性方面的優異性能。

此外，MONOVAT 技術的特殊軟關閉機制（不含任何潤滑劑）可最大限度地減少對安裝閥門的系 統的機械沖擊影響。在傳統的閥門解決方案中，快速移動的閥板接觸閥體會引起機械沖擊。15.2 超高真空隔離閘閥系列已安裝在數千個要求苛刻的應用中，證明了其在各種工藝條件下的可靠性。

堅固的分體式設計減少了工作量并簡化了維護。該系列可輕松滿足從標準真空到超高真空的所有真空隔離要求。

法蘭連接、密封件材質或額外真空端口的各種設計選項使其易于集成到任何應用中。

15.2 超高真空隔離閘閥可搭配氣動驅動器和電磁閥使用；作為設備上解決方案或用于外部安裝均可。電磁閥的標準電壓為 24 VDC，但可根據要求提供其他電壓。閥門位置由最高可烘烤至 140℃ 的機械或電氣位置指示器指示。

法蘭連接 ISO-F、CF-F (15.2)、ASA-LP 和 JIS為標準選項，還可提供客戶指定法蘭。可集成 定制功能，例如特殊的帶窗閘門和帶箔閥板，或額外的真空端口。

這些閥門配有氟橡膠密封。可根據要求使用其他密封件材質。

特點:

優勢: